真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

產(chǎn)品簡介

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列，可以在真空環(huán)境下使用的主動隔振平臺、能更好適配真空實(shí)驗(yàn)場景。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-07-02

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：1321

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真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

特點(diǎn)

空氣彈簧支撐，磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)
機(jī)械式倒立擺負(fù)剛度機(jī)構(gòu)并聯(lián)正剛度機(jī)構(gòu)
適用1E-4Pa的真空環(huán)境
6自由度主動隔振
主動隔振帶寬低至0.5Hz起
標(biāo)品負(fù)載最大支持7000KG
水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)160N
總體規(guī)格（長、寬、高）多種規(guī)格可選
核心控制系統(tǒng)全部自研
核心部件國產(chǎn)化

技術(shù)指標(biāo)

主動隔振帶寬：0.5-150Hz
臺面穩(wěn)定性：≤±5um
傳遞率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-50dB@10Hz
水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)270N
系統(tǒng)支持最大功率400W
臺面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm

NTBK：0.1mm/600mm×600mm

大理石臺面：0級、1級、2級、3級可選（GB/T20428-2006）

臺面厚度：100/200/300mm
孔徑：可定制孔徑
孔距：可定制孔距或特殊位置打孔
標(biāo)品單腿最大承載能力：1800Kg

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列命名規(guī)則

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

選型表：（M、K、P參考具體臺面信息）

產(chǎn)品型號

整體規(guī)格（L*W：mm）

臺面上負(fù)載要求（kg）

臺面厚度（mm）

隔振器規(guī)格

(L*W*H:mm)

單腿重量

ZVI-VB-30-15M

3000×1500

100-2000

400

1060×900×202

40kg

尺寸圖：

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

型號	尺寸（ mm）
型號	L	W	T	H1	H2
ZVI-VB-30-15M	3000	1500	400	900	500

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