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光譜角分布測量系統
全波段光譜透過率測量,透射角分布測量
全波段光譜反射率測量,反射角分布測量
波長范圍:200nm-IR
不同的光譜范圍可能需要不同的光學光路設計結構
雙層平臺獨立旋轉,重復定位精度0.005°,分辨率0.00125°
樣品置于上層旋臺,探測器置于下層旋臺,樣品和探測器可以任意角度工作
臺面上放置一個五維調整鏡座,可將樣品調整到旋臺的旋轉中心并且垂直于臺面
功能擴展:測量光柵衍射效率
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